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应用领域
半导体
等离子体反应室内衬 | 真空设备涂层 | 半导体蚀刻机、CVD反应室的内衬、CVD反应室的喷淋头 | 高介电常数(高κ)栅极介质材料 | 蚀刻反应室内衬(Al₂O₃/Y₂O₃)| LPCVD设备反应腔(Preforma Uniflex™)
光电
显示面板制造设备的腔体内壁或部件表面 | 激光器窗口涂层 | 光学镀膜基底 | 制造YAG(钇铝石榴石)激光晶体 | 制造红外窗口 | 制造导弹整流罩 | 单晶生长坩埚(用于蓝宝石生长)| 单晶生长坩埚(用于硅单晶生长)| 无坩埚蓝宝石生长技术 | 导弹整流罩红外透明陶瓷
核能
核反应堆燃料棒涂层 | 核反应堆内部结构件的防护层 | 与放射性元素形成稳定化合物| 核废料固化基材(如烧绿石型Y₂Ti₂O₇)| 燃料棒多晶金刚石防护涂层
化工
化工设备涂层 | 管道涂层 | 阀门涂层 | 暴露于强酸、强碱或熔融金属环境中的部件涂层 | 球阀/反应釜内衬强化涂层
能源
涡轮叶片热障涂层 | 燃烧室内壁热障涂层 | 燃气轮机叶片热障涂层(TBCs)
医疗
医疗影像设备部件涂层 | 放疗设备的辐射屏蔽组件涂层 | 手术激光器Nd:YAG陶瓷增益介质
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